關(guān)鍵詞：出貨量 finfet 半導(dǎo)體工藝 山丘 絕緣體上硅 

摘要：2000年前后,胡正明教授公布FinFET(鰭式晶體管)與FD-SOI(Fully Depleted Silicon On Insulator,全耗盡型絕緣體上硅)技術(shù),為25納米及以下半導(dǎo)體工藝發(fā)展指明方向。臺(tái)積電和英特爾都選擇了FinFET工藝,這使其成為邏輯工藝的主流方向.

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